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从沉积方式、薄膜厚度、沉积温度和离子束能量四个方面，研究了沉积工艺对氟化镱(YbF3)薄膜可靠性的影响。研究结果表明，相较于电阻加......
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聚焦离子束系统正成为微细加工领域的有力工具。文章简述了聚焦离子束系统的组成和工作原理，着重介绍了该系统在离子束刻蚀、离子束......
